水質標準優于中國國家實驗室用水（GB6682-92）一級水標準；優于三次蒸餾水

吸光度（254nm,25px光程）≤0.001     可溶性硅（以計），mg/L﹤0.01

總有機碳量：TOC﹤15ppb             微粒子（大于0.22μm）含量： ﹤1/ml

重金屬含量（mg/L.max）：﹤0.01      氧化矽含量（mg/L.max）: ≤0.01

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