大型水處理氧氣源臭氧發生器設備產率是指臭氧發生器每單位時間產生的臭氧量；臭氧濃度值與進入臭氧發生器的空氣總量值乘積，即為臭氧產率；一般用mg/h、g/h和kg/h來表示。在臭氧發生器的標準中，規定了臭氧發生器的規格型號，使用臭氧的產量表示和區別。以g/h表示的小型臭氧發生器，以kg/h表示的大型臭氧發生器，其規格大小有所不同。
臭氧氣是一種氧化性強的不穩定氣體，臭氧發生器的輸出濃度還受到許多因素的影響，其中腔溫是一個非常重要的因素；臭氧在30度左右時衰減45%左右，在40~50℃時衰減50%，在60℃以上臭氧衰減60%左右。因此，臭氧發生器的驅動是否與臭氧層(臭氧管)的功率匹配，這一點非常重要。市場上有不少生產臭氧產品的廠家，由于自己沒有做臭氧發生器的驅動，直接從下游廠家拿貨，這是做不到與臭氧片(臭氧管)匹配的，能達到60%的匹配就很不錯了。因此專業的臭氧發生器制造商需要自己生產驅動，或者找合適的驅動制造商合作。因此，有哪些重要因素會影響臭氧發生器產生臭氧濃度？

大型水處理氧氣源臭氧發生器設備的結構及加工精度；
冷卻方式及條件；
驅動電壓及驅動頻率；
四是介電材料；
原料氣體中氧的含量及其對干燥度的影響。
發電機供電系統的效率(率和低熱量轉換)。