水處理臭氧發生器系統技術設備的應用技術主要有發生技術、冷卻技術、干燥技術、氣水混技術四個基礎部分以及電氣控制系統、結構系統六個方面。
在水處理中使用臭氧的濃度單位一般是以mg/L計算，水處理要求使用濃度高、產氧量大的臭氧，臭氧發生量/小時、負荷功率耗電、氣源干燥度、產品壽命等為主要指標。
污水處理臭氧發生器多采用氣隙放電法，由于濃度要求較高，其耗電較大，器件的溫升也不可避免，溫升是影響臭氧產生和設備使用壽命的主要因素，因此一般需要冷卻，主要有風冷、水冷兩種，有的通過冷氣源來解決，采用何種方式，取決于設備的設計。

當臭氧發生相同部件、電源條件下，臭氧產率與氣源干燥度成正比時，即當氣源干燥度較高時，發生量/小時值較高，因此對氣源進行凈化干燥處理，一般稱為氣源預處理或氣源干燥器系統。當前主要的氣源干燥方法有冷凍法、露凝法、化學法等，其干燥度計算值與空氣溫度相等，如-40℃指的是-40℃氣源的干燥度。
空氣-水混合裝置是臭氧用于水處理*的配套技術，臭氧在水中易溶，溶解度比氧氣高出十多倍，但需采用一種技術手段，使臭氧與水充分接觸，接觸面積、時間、臭氧濃度、壓力等都是混合效果的決定因素。

電控制是水處理臭氧發生器系統技術設備的重要組成部分，它與設備的開啟、停機和使用直接相關，一般分為手動、自動、數控三種模式，目前閉環控制的應用還不多，電控系統的設計是根據單機的運行要求而定的，不多說。除了將上述技術組裝到一起外，結構系統還考慮了高濃度臭氧氣體的密封問題，避免泄漏傷及人體，必要時還對剩余臭氧的催化處理技術提出了嚴格的要求。