在污水處理過程中，臭氧消毒滅菌設備通常采用池曝氣法或末端曝氣法。多數情況下，廢水的臭氧氧化器被置于多種和生物降解系統中的化學氧化之前，有時被置于化學氧化處理裝置（即臭氧-生物處理-臭氧系統）之后。

臭氧氧化法與生物降解法相結合的工藝在工業應用中常被采用，可減少臭氧量和運行費用。氣液接觸器通常用于工業廢水臭氧氧化系統后的鼓泡塔反應器和文丘里注射器的配制，大多數采用串聯逆流方式。許多反應器處于加壓運行狀態，目的是為了獲得較高的臭氧傳質速率，從而提高整個過程的效率。在污水處理過程中，臭氧消毒滅菌設備具有消毒滅菌全面、充分、比較*地，不產生二次污染，*等優點，是目前廣泛使用的水處理設備。

采用臭氧發生器去除甲醛時，應在無人操作的環境下進行，開機工作時，所有人員應撤離房間，并關上房門，防止臭氧泄漏，減少臭氧的濃度，每天早晚各殺毒一次，并保持半個月。使臭氧能有效地進入板材、涂料等內部，這樣臭氧去除甲醛后基本上能達到*清除。在住人之后，每周再用臭氧機清理3小時，臭氧機工作時室內無人，約3小時后，臭氧與空氣反應可完成轉變成氧氣，對人與物再進入無任何影響。因此，臭氧機還是能比較有效地去除甲醛，只要工作的時候沒有人在室內，是不會對人有影響的。