由于過量發生的臭氧不能貯存，而且過量發生的臭氧又額外浪費電能；同時由于臭氧屬于有毒物質，為了安全和健康的原因，接觸器尾氣中的剩余臭氧必須在排放到環境之前予以分解，這也需要電能。此外當水質下降時，在原來臭氧發生量的前提條件下，某些存在于液體中的有機污染物在臭氧氧化處理過程中會部分被氧化成毒性更大的中間產物，需要立即增加臭氧來將其氧化處理掉，因此需要在工藝環節上檢測監測系統運行數據，并對臭氧系統進行調節處理。

使用臭氧發生器產生的臭氧，在相對密閉的環境下，擴散均勻，克服了紫外線消毒存在諸多死角的固有缺點，消毒滅菌。衛生組織對消毒滅菌劑的功效進行了歸納比較，對大腸桿菌殺滅效果較好的是臭氧，次之為次氯酸(二氧化氯 、銀離子、次氣酸根、高鐵酸鹽、氣胺，作用依次減弱。臭氧滅菌速度較次氯酸快600 ~ 3 000倍，能殺滅次氯酸所不能殺滅的和包囊（如隱孢子蟲）。臭氧消毒具有性強、不產生殘余分子污染的優點,是實驗室消毒選擇

為了實現完整的工業應用，還需要臭氧加藥裝置、臭氧尾氣破壞裝置、氣源裝置等相關輔助設備。

水處理臭氧發生器選型及檢測