臭氧是一種既普遍而又特殊的化學物質，其*的特性，如強氧化性、極優的消毒和防腐保鮮作用、無殘留、以空氣或氧氣為原料用物理方法可以制取等，使其在*已形成了一種獨立的產業—臭氧技術產業。臭氧濃度確保消毒作用：只要確保和其它消毒滅菌劑一樣，只要到達足夠的劑量，作用必定時間才干到達消殺作用。例如當臭氧濃度為0.08～0.6ppm時，對空氣中細菌繁殖 體中的大腸桿菌作用30min，其平均殺滅率達84.60～99.9%，而空氣中臭氧濃度為0.34～0.85ppm時，作用10～30min，其殺滅率 可達99.47～99.97%。又如臭氧對空氣消毒時，當濃度為0.21mg/L時，作用10min對殺滅率達90.81%，如進步濃度為 0.72mg/L時，作用時間仍為10min，殺滅率可達99.99%。一般講臭氧的濃度愈高其滅菌作用愈好。

使用臭氧發生器產生的臭氧，在相對密閉的環境下，擴散均勻，克服了紫外線消毒存在諸多死角的固有缺點，消毒滅菌。衛生組織對消毒滅菌劑的功效進行了歸納比較，對大腸桿菌殺滅效果較好的是臭氧，次之為次氯酸(二氧化氯 、銀離子、次氣酸根、高鐵酸鹽、氣胺，作用依次減弱。臭氧滅菌速度較次氯酸快600 ~ 3 000倍，能殺滅次氯酸所不能殺滅的和包囊（如隱孢子蟲）。臭氧消毒具有性強、不產生殘余分子污染的優點,是實驗室消毒選擇

為了實現完整的工業應用，還需要臭氧加藥裝置、臭氧尾氣破壞裝置、氣源裝置等相關輔助設備。

電解臭氧發生器處理泳池水