臭氧發生技術已在食品、醫院和制藥企業中投入應用，主要有電暈放電法和電解法。利用電暈放電技術，在工業、生活和醫院廢水中制備臭氧，是目前常用的工業廢水處理方法，產生的臭氧可用于初步處理含苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物的廢水，也可用于含Fe2+、Mn2+、氰、酚、親水性染料、細菌等廢水的處理。用臭氧處理醫院污水可以消毒滅菌，如果用臭氧處理醫院污水，可以減少感染源，解除了后顧之憂。化驗室、制藥、化工、食品、釀酒、飲用水處理、中水回用、冷卻水處理、賓館、飯店、醫院、教室、家庭網吧等公其場所，多采用小型臭氧發生器對空間進行局部消毒。

使用臭氧發生器產生的臭氧，在相對密閉的環境下，擴散均勻，克服了紫外線消毒存在諸多死角的固有缺點，消毒滅菌。衛生組織對消毒滅菌劑的功效進行了歸納比較，對大腸桿菌殺滅效果較好的是臭氧，次之為次氯酸(二氧化氯 、銀離子、次氣酸根、高鐵酸鹽、氣胺，作用依次減弱。臭氧滅菌速度較次氯酸快600 ~ 3 000倍，能殺滅次氯酸所不能殺滅的和包囊（如隱孢子蟲）。臭氧消毒具有性強、不產生殘余分子污染的優點,是實驗室消毒選擇

為了實現完整的工業應用，還需要臭氧加藥裝置、臭氧尾氣破壞裝置、氣源裝置等相關輔助設備。

臭氧發生器醫院污水消毒凈化處理