集成電路用EDI超純水設備EDI膜堆主要由交替排列的陽離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負電極組成。在直流電場的作用下，淡水室中離子交換樹脂中的陽離子和陰離子沿樹脂和膜構成的通道分別向負極和正極方向遷移，陽離子透過陽離子交換膜，陰離子透過陰離子交換膜，分別進入濃水室形成濃水。同時EDI進水中的陽離子和陰離子跟離子交換樹脂中的氫離子和氫氧根離子交換，形成超純水(高純水)。超極限電流使水電解產生的大量氫離子和氫氧根離子對離子交換樹脂進行連續的再生。傳統的離子交換，離子交換樹脂飽和后需要化學間歇再生。而EDI膜堆中的樹脂通過水的電解連續再生，工作是連續的，不需要酸堿化學再生。

集成電路用EDI超純水設備產品特點：

1、整體化程度高 , 易于擴展 , 增加膜數量即可增加處理量。

2、自動化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動保護功能。

3、膜組件為復合膜卷制而成 , 表現出更高的溶質分離率和透過速率。

4、能耗低 , 水利用率高 , 運行成本低。

5、結構合理 , 占地面積少。

6、*的膜保護系統 , 在設備關機 , 淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈 , 延長膜壽命。

7、系統無易損部件 , 無須大量維修 , 運行長期有效。

8、設備設計有膜清洗系統用阻垢系統。