EDI超純水設備進水條件及設計工藝：

EDI超純水設備進水條件

◎當原水含鹽量>100ppm時，需采用二級RO產水做一級EDI進水；

◎TDS：＜3ppm；

◎pH：6.0～8.0，*工作的pH范圍為7±0.5；

◎溫度：5～35攝氏度，*工作溫度為25攝氏度；

◎進水壓力：＜4bar（60psi）；

◎硬度：（以CaCO3計）：＜0.5ppm；

◎有機物（TOC）：＜0.5ppm；

◎氧化劑：Cl2＜0.05ppm，O3＜0.02ppm；

◎變價金屬：Fe＜0.01ppm，Mn＜0.02ppm；

◎H2S：＜0.01ppm；

◎二氧化硅：＜0.3ppm；

◎二氧化碳的總量：＜3ppm。

系統工藝設計

采用EDI技術制取電子級超純水應用工藝說明：

快速濾器 超濾 阻垢劑 反滲透 脫氣 pH調節 反滲透 EDI TOC 分解器 拋光混床 UV殺菌燈 微濾；

砂濾器 碳濾 阻垢劑 反滲透 脫氣 pH調節 反滲透 EDI TOC分解器 拋光混床 UV殺菌燈 微濾。