臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠高于開放式。

該類臭氧發生器是使用特定波長（185mm）的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。

該類臭氧發生器其特性是采用新型PEM膜用低壓直流導通固態膜電極的正負兩極電解去離子水，水在特殊的陽極溶液界面上以質子交換的形式被分離為氫氧分子，氫從陰極溶液界面上直接被排放，氧分子在陽極介面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，并聚合成臭氧分子。比較常規電暈法發生器的制取方式，有以下優點：
　　1.所產生的臭氧氣體濃度高，重量比數倍于電暈法臭氧發生器，可達到20%（大于250mg/L）
　　2.所產生的臭氧氣體中，不含氮氧化合物（NOx），無致癌物質。
　　3.工作時抗環境濕度影響高達85%，即使在潮濕的環境下工作下，也能穩定地保持臭氧產量。
　　4.由于使用直流低電壓電解方式，工作時不會產生電磁波和噪音，與其它精密儀器共同工作時，不會造成干擾。
　　5.因所產生的臭氧濃度高，投入水中同等值的臭氧量，用本方式可達到較高的水中剩余臭氧濃度，即可對飲用水進行滅菌與消毒，并可制出高濃度的臭氧水（消毒劑）
　　6.擁有的使用壽命，數倍于電暈法臭氧發生量，膜電極使用壽命。
　　● 臭氧水機降解廣泛存在于蔬菜、瓜果、魚、肉等食物中的農藥、化肥殘留。
　　● 高效殺菌消毒，可快速殺滅水中繁殖的大量細菌和病毒，又能使富含氧的活性水對人體有益。
　　● 預防疾病；自來水經臭氧凈水后可高效殺滅餐具上的病毒，防止疾病通過餐具在公眾和家庭成員中傳播。高效殺滅生活用品上的各種病毒，有效防止交叉感染。
　　● 健康皮膚；用于洗澡、洗臉可清除毛孔中的污漬，活化表皮細胞，促進皮膚新陳代謝。
　　● 護發美發、足浴保健。用臭氧水洗頭能去屑、止癢，泡腳可治腳氣。
　　● 經濟實惠；本系列產品使您享受安全，方便、高品質的健康生活。
　　● 適用范圍
　　食品加工行業：生產用水、生產車間、包裝間、更衣室、無菌間、生產設備工具的消毒。
　　飲料加工行業：純凈水、礦泉水、各種飲料的生產用水、生產車間、包裝間、更衣室、無菌間、生產設備工具的消毒。
　　果蔬加工行業：果蔬儲存、保鮮、加工生產用水、生產車間、包裝間、更衣室、無菌間、生產設備工具的消毒的消毒。
　　冷庫保鮮：果蔬、糧食、禽蛋、肉類、水產品等防腐保鮮、延長儲存。
　　制藥行業：生產用水、空調系統、車間、更衣室、無菌室等消毒。
　　醫藥行業：制藥廠、醫院病房、、被服、手術室、科研、無菌室等。
　　養殖種植業：養雞、養魚、蔬菜大棚等殺菌、消毒、除臭、凈化空氣等。
　　飲用水：深井水、市政供水、二次加壓供水、農村飲用水等。
　　公共場所：賓館、飯店、學校、網吧、候車大廳等凈化空氣、預防交叉感染等。
　　另外可應用于中水、污水、廢水、廢氣中，及游泳池、游泳館的水質凈化、空氣凈化等場所。

1）、臭氧發生器必須安裝在制水車間和灌裝車間之外（尤其嚴禁安裝在狹小、潮濕的制水或灌裝車間），保持發生器工作環境通風及空氣干燥，該空間必須安裝排風扇。

2）、臭氧發生器安裝位置應高于地面以上，有條件時可高于貯水罐1～2m。臭氧輸送管路和單向閥必須高于貯水罐1～2m。

3）、具體產品的施工安裝要點需詳見企業樣本。