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超純水是指水質要求在1us以下或在10M歐姆以上的純水。可廣泛用于光學行業、光電行業、生物制藥行業、電鍍行業及電廠鍋爐補給用水。超純水處理設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法來制超純水,將水中的導電介質幾乎去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。出水水質電阻率達到15兆以上(即電導率0.06us/cm),目前,我國電子工業部把工業超純水水質技術分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
4、壓力表、流量表、溫度表等投入正常運行。
各行業工業生產中對純水,超純水的水質要求都不一樣,具體如下表供參考:
| 工業企業類型 | 用途 | 水質要求 |
| 五金電鍍廠 | 生產鍍件沖洗用純水 | 電導率≤10~20μs/cm |
| 塑膠電鍍廠 | 生產鍍件沖洗用水 | 電導率≤10μs/cm |
| 五金塑膠鍍金銀 | 生產鍍件沖洗用水 | 電導率≤2μs/cm |
| 線路板廠 | 微蝕沖洗純水 | 電導率≤10μs/cm |
| 電子、電器廠 | 工業用純水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 玻殼生產廠 | 玻殼生產沖洗用水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 鋁合金生產廠 | 鍍膜沖洗用純水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 精密五金組件廠 | 表面處理沖洗用純水 | 電阻率≥5MΩ.CM |
| 汽車烤漆廠 | 鍍漆表面沖洗用純水 | 電阻率≥5MΩ.CM |
| 印染廠 | 印染用純水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 鎳氫電池、電子廠 | 工業用超純水 | 電阻率≥10MΩ.CM |
| 彩色顯示器生產廠 | 顯象管沖洗超純水 | 電阻率≥18MΩ.CM |
| 計算機廠 | 硬盤生產沖洗超純水 | 電阻率≥18MΩ.CM |
| 實驗室用 | 電子級超純水 | 電阻率≥18MΩ.CM |
| 鍍膜玻璃廠 | 鍍膜用電子超純水 | 電阻率≥17~18MΩ.CM |
| 薄浮法玻璃廠 | 鍍膜工業用超純水 | 電阻率≥17MΩ.CM |
| 半導體廠 | 生產用超純水 | 電阻率≥15MΩ.CM |
| 液晶顯示器廠 | LCD沖洗用超純水 | 電阻率≥12~15MΩ.CM |
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