高純水設備的技術發展主要經歷：
1、陰、陽離子交換器＋混合離子交換器；
2、反滲透＋混合離子交換器；
3、反滲透＋EDI電去離子裝置等階段。“預處理+反滲透+EDI電去離子”整套除鹽系統，有著其它處理系統的優點，正被廣泛應用于純水、高純水設備中。
本公司設計的反滲透RO+EDI高純水設備系統將成熟的RO工藝和EDI工藝結合了起來，反滲透系統取代了傳統的陽陰離子交換工藝，電除鹽裝置取代了傳統的混合離子交換器，是無需化學藥劑再生的純水處理工藝。系統的回收率取決于進水的水質情況，EDI的回收率由濃水排放量進行控制。RO反滲透+EDI高純水設備工藝流程：

RO+EDI是目前較為的高純水制備工藝系統之一。反滲透RO+EDI高純水設備出水水質符合美國ASTM標準、電子部超純水水質標準。