超純水設(shè)備產(chǎn)生的濃水如何回收利用
超純水設(shè)備在運(yùn)行過程中,通常會(huì)產(chǎn)生占進(jìn)水總量約20%-50%的濃水(也稱濃縮水或廢水)。這部分濃水因含有較高濃度的鹽分、離子和有機(jī)物,常被誤認(rèn)為“無用之水”而直接排放,造成水資源的極大浪費(fèi)。事實(shí)上,濃水通過合理的技術(shù)手段可以實(shí)現(xiàn)回收再利用,不僅能為企業(yè)降低用水成本,還能減少?gòu)U水排放,實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益的雙贏。

一、濃水回收利用的主要途徑
根據(jù)濃水的水質(zhì)特點(diǎn)及不同用水場(chǎng)景的要求,濃水可采用“分級(jí)分質(zhì)、梯級(jí)利用”的思路進(jìn)行分類回收:
(一)水質(zhì)較好濃水的直接回用
一級(jí)反滲透(RO)產(chǎn)生的濃水雖鹽分較高,但經(jīng)預(yù)處理后濁度較低。這部分濃水可直接引至對(duì)水質(zhì)要求不高的用水點(diǎn),如:
冷卻塔補(bǔ)水:冷卻塔對(duì)補(bǔ)水水質(zhì)要求相對(duì)寬松,是濃水回用的主要去向之一。上海先進(jìn)半導(dǎo)體公司將超純水系統(tǒng)濃水回收至冷卻塔作為補(bǔ)水使用,日均節(jié)水量達(dá)160立方米。
廢氣洗滌塔用水:洗滌塔用于處理工業(yè)廢氣,對(duì)水質(zhì)要求較低,可大量消耗回收的濃水。
沖廁與綠化用水:經(jīng)簡(jiǎn)單處理后,濃水可用于廠區(qū)衛(wèi)生間沖廁、道路灑水降塵及綠化灌溉。科森科技東臺(tái)公司將超純水濃水收集后輸送到職工宿舍用于沖廁,既節(jié)水又降本。
(二)水質(zhì)較差濃水的深度處理回用
對(duì)于電導(dǎo)率較高或總有機(jī)碳(TOC)濃度較高的濃水,直接回用存在風(fēng)險(xiǎn),需進(jìn)一步處理后使用:
建立濃水反滲透系統(tǒng):對(duì)一級(jí)RO濃水進(jìn)行二次反滲透處理,可提取約50%-70%的淡水回用至原水箱,剩余少量高濃水再行排放。
混合處理工藝:針對(duì)不同類型的廢水進(jìn)行混合中和處理。成都天馬微電子將一級(jí)反滲透濃濃水(高電導(dǎo)率)與有機(jī)回收水(高TOC)混合后,經(jīng)“活性炭+反滲透+除有機(jī)碳”工藝處理,回收率達(dá)70%,年節(jié)約自來水25萬(wàn)立方米。
多級(jí)過濾組合工藝:采用“袋式過濾器+保安過濾器+濃水RO系統(tǒng)”的組合工藝,可確保出水水質(zhì)達(dá)標(biāo)。尼西半導(dǎo)體公司采用此方案后,每年回收利用濃水達(dá)14萬(wàn)立方米。
(三)回用于生產(chǎn)前端的循環(huán)利用
部分濃水可直接回流至原水系統(tǒng)進(jìn)行循環(huán)利用:
二級(jí)反滲透產(chǎn)生的濃水水質(zhì)相對(duì)較好,可通過循環(huán)水泵直接泵回原水箱,重新進(jìn)入制水流程。
超純水制備過程中的多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器的反沖洗水,經(jīng)沉淀、過濾處理后也可回用至原水系統(tǒng)。

二、濃水回收的典型工藝流程
目前主流的濃水回收處理工藝流程如下:
濃水收集 → 沉淀池/調(diào)節(jié)池 → 多介質(zhì)過濾/活性炭過濾 → 保安過濾 → 反滲透系統(tǒng) → 回用水箱 → 各用水點(diǎn)
針對(duì)有機(jī)物含量較高的濃水,還需增加除有機(jī)碳(TOC去除)設(shè)備,以確保出水有機(jī)物指標(biāo)達(dá)標(biāo)。
三、濃水回收的經(jīng)濟(jì)與環(huán)境效益
濃水回收利用項(xiàng)目投資回報(bào)周期短,經(jīng)濟(jì)效益顯著。以成都天馬微電子為例,其濃水回收項(xiàng)目投資165萬(wàn)元,年節(jié)省水費(fèi)約110萬(wàn)元,同時(shí)減少?gòu)U水排放25萬(wàn)立方米,投資回收期約1.5年。
從環(huán)境角度看,濃水回收減少了對(duì)外排放量,降低了污水處理廠的負(fù)荷,同時(shí)減少了企業(yè)對(duì)市政自來水的依賴,符合國(guó)家“節(jié)水優(yōu)先”的政策導(dǎo)向和綠色制造的發(fā)展理念。
四、結(jié)語(yǔ)
超純水設(shè)備產(chǎn)生的濃水并非“廢水”,而是具有較高利用價(jià)值的“二次資源”。企業(yè)應(yīng)根據(jù)自身水質(zhì)特點(diǎn)、用水需求和經(jīng)濟(jì)條件,選擇適合的濃水回收方案——從簡(jiǎn)單的直接回用(沖廁、綠化、冷卻塔補(bǔ)水),到建立濃水反滲透系統(tǒng)進(jìn)行深度處理,均可實(shí)現(xiàn)節(jié)水增效的目標(biāo)。
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